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                    MEMS 加工

                    點擊次數:348次????更新時間:2017-03-16 10:48:26

                      Axetris為OEM客戶提供定制產品的代加工服務,可以提供從初設理念到批量生產產品的全程服務。我們的生產車間配備了尺寸從150mm到200mm的晶圓盤加工設備,包括適用于標準的MEMS加工的工藝制程,如濕式化學制程,光刻制程及鍍膜工藝。我們用一套計量系統來確保高標準,高品質的控制要求,并且用一種現代統計學的方法為以TS 16949標準為指導原則的生產流程打下堅實的基礎。作為獲得ISO 9001:2015質量認證體系的公司,我們堅信始終能保證優質的產品和品質。

                      Axetris為OEM客戶提供定制產品的代加工服務,可以提供從初設理念到批量生產產品的全程服務。我們的生產車間配備了尺寸從150mm到200mm的晶圓盤加工設備,包括適用于標準的MEMS加工的工藝制程,如濕式化學制程,光刻制程及鍍膜工藝。我們用一套計量系統來確保高標準,高品質的控制要求,并且用一種現代統計學的方法為以TS 16949標準為指導原則的生產流程打下堅實的基礎。作為獲得ISO 9001:2015質量認證體系的公司,我們堅信始終能保證優質的產品和品質。

                      Axetris標準的制作能力

                      光刻制程

                      ·1μm的光刻能力,最大到8"晶圓盤

                      ·單面或雙面校準

                      ·厚層抗蝕劑制程(SU8,其它)

                      濕法化學制程

                      ·各向異性的硅刻蝕法

                      ·玻璃刻蝕法

                      ·金屬刻蝕法

                      ·濕法清洗制程

                      等離子體處理/表面修整

                      ·金屬鍍膜

                      ·噴濺涂覆,最大到8"晶圓盤

                      ·共同噴濺涂覆

                      介質涂層的沉積

                      ·用PECVD法的二氧化硅或氮化物涂層

                      ·用反應噴濺涂覆法的二氧化硅或氮化物涂層

                      反應離子刻蝕制程

                      ·熔融石英

                      ·硅

                      ·氮化硅/氧化硅

                      ·光刻膠

                      測量和特性參數界定

                      ·干涉測量和觸覺感知表面測量

                      ·膜厚度測量

                      ·阻值系數&電阻值

                      ·光學顯微鏡

                      ·自動光學檢測

                      ·掃描電鏡(SEM)

                      Axetris專業的制作能力

                      微光學

                      ·用于折射和衍射的微光學部件

                      薄膜

                      ·用于光學,傳感器和生命科學等應用的絕緣薄膜

                      CMOS晶圓盤后處理程序

                      ·CMOS后處理程序,如背面開口,金屬鍍膜,薄膜沉積

                      剝脫程序

                      ·連同剝脫程序的金屬鍍膜,如電極涂層,焊接襯墊涂層??蛇x用材料包括金,鉑,金錫合金,鉻,鎳,鉭,鈦鎢合金,銅,鋁,其它材料可協商

                      切割

                      ·硅,玻璃&熔融石英晶圓盤的切割

                      ·附帶易碎基底的晶圓條切割,比如薄膜和微光學用的基底


                    產品編號 : 
                    參數單位
                    典型值



                    MEMS 加工

                    MEMS 加工

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