點擊次數：262次????更新時間：2017-03-16 11:09:43
基于MEMS工藝的熱式質量流量技術；
重復性、復現性、穩定性強；
氣體控制精度高，可快速響應；
大于1000:1的動態量程比；
在很大的測量范圍內，也能保持良好的線性度；
結構緊湊，幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量；
模塊化設計，為OEM客戶量身定制。
Axetris是一家提供高效能質量流量解決方案的OEM供應商，能滿足您所有需求！請與我們聯系探討您的技術要求–我們的工程團隊將幫助您設計出既優化復雜性又節約成本的解決方案，同時保持高效能標準，而保持高標準一直是Axetris質量流量產品系列的追求。
產品特性：
· 基于MEMS工藝的熱式質量流量技術；
· 重復性、復現性、穩定性強；
· 氣體控制精度高，可快速響應；
· 大于1000:1的動態量程比；
· 在很大的測量范圍內，也能保持良好的線性度；
· 結構緊湊，幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量；
· 模塊化設計，為OEM客戶量身定制。
Axetris擁有完整的，經驗豐富的流體動力學工程師團隊，先進的仿真模擬裝備，以及先進的測試和檢測實驗室，為客戶提供全方位解決方案、技術支持和系統整合。為OEM客戶需求量身定制特定條件應用的質量流量產品：真實氣體校準，一系列可配置選項，可選數字濾波參數，可選電氣和機械接口。
標?準產品系列：需完整產品目錄，請聯系Axetris !
每個Axetris MFM/MFC2000產品都提供全量程的標定和溫度補償，標定遵從NIST溯源。
廣泛的氣體種類和量程范圍：
MFM/MFC2000產品可以適用非常廣泛的多種非腐蝕氣體，氣體量程可以從小于20sccm到20000sccm(標準立方厘米每分鐘)。通過旁路設計，還可獲得更大的量程范圍。
標準型產品:
MFM 21x0: 標準型質量流量計，是MFM2020加裝電氣保護外殼的擴展產品。
標準型質量流量計，是MFM2020加裝電氣保護外殼的擴展產品。
MFM 2120: RS232/ 0…5 Volt, MFM 2130: RS232/ 4…20 mA,MFM 2140: RS485.
MFC 21x2: 標準型質量流量控制器，集成了快速反應的調節閥。相較于傳統的質量流量控制器，具有更小的體積，更高的精度，更短的整定時間，以及多量程，多種氣體的控制能力。
如下為不同型號所支持的數字/模擬接口選項：
MFC 2122: RS232/ 0…5 Volt, MFC 2132: RS 232/ 4…20 mA,
MFC 2142: RS485, MFC 2162: PROFINET?
用于系統集成的OEM模塊：
MFM 2020: 帶有數字交互界面和0-5V模擬輸出的緊湊型質量流量計。它的小巧的尺寸讓其成為受限于空間限制的產品設計的理想選擇。此外它也是用來建立定制化和多種氣體通道測量的理想模塊。
MFM 2021: 此先進的氣體質量流量計附帶有高精密PID控制，配備模擬信號輸出，使其對氣體流量進行直接、高速和精準得到測量成為可能。
MFC 2022: 帶有快速反應調節閥和具有驅動電路的緊湊型質量流量控制器。它是高度緊湊型氣體控制系統的理想選擇。
| 參數 | 單位 | 典型值 |
| 流量范圍 | sccm | up to 15,000 per channel |
| 目標氣體 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
| Gas Flow Channels | Up to 4 | |
| Channel Type | Controller or Meter | |
| Configuration | Mixer or Splitter | |
| 流量精度 | Axetris standard | |
| 穩定時間 | ms | < 150 |
| 供電電壓 | V | 24 |
| 數字量輸入輸出 | RS-485 全雙工 | |
| Electronic Interface | Common Electronic Interface Board with D-Sub 9 Connector (Optional) | |
| Mechanical Interface | Thread 1/8” ISO, Optional Fittings | |
Axetris質量流量技術被用于眾多行業，廣泛應用于氣相色譜、泄露檢測、熱分析、質譜、鍍膜技術、等離子技術以及其他眾多的領域。
■ 分析儀器
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| 質譜分析 | 原子光譜分析 | |
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| 熱值分析 | 生物反應器和發酵設備 |
■ 工業領域
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| 薄膜鍍層控制 | CO2激光切割 |
■ 醫療領域
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| 氧氣混合設備 | 通風裝置及呼吸設備控制 |
