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                    質量流量集管--標準平臺

                    點擊次數:190次????更新時間:2017-03-16 11:09:12

                    基于MEMS工藝的熱式質量流量技術;

                    重復性、復現性、穩定性強;

                    氣體控制精度高,可快速響應;

                    大于1000:1的動態量程比;

                    在很大的測量范圍內,也能保持良好的線性度;

                    結構緊湊,幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量;

                    模塊化設計,為OEM客戶量身定制。


                    Axetris可供使用的質量流量集管標準平臺,在單個基板上安裝有多達4個質量流量控制器或者流量計。集管具有混合器或者分離器配置,從而可以根據客戶要求,校準每一個通道。該產品是混合或者分離氣體流的緊湊即用型解決方案,具有高精確度和再現性。


                    產品特性:


                    · 基于MEMS工藝的熱式質量流量技術;

                    · 重復性、復現性、穩定性強;

                    · 氣體控制精度高,可快速響應;

                    · 大于1000:1的動態量程比;

                    · 在很大的測量范圍內,也能保持良好的線性度;

                    · 結構緊湊,幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量;

                    · 模塊化設計,為OEM客戶量身定制。


                    Axetris擁有完整的,經驗豐富的流體動力學工程師團隊,先進的仿真模擬裝備,以及先進的測試和檢測實驗室,為客戶提供全方位解決方案、技術支持和系統整合。為OEM客戶需求量身定制特定條件應用的質量流量產品:真實氣體校準,一系列可配置選項,可選數字濾波參數,可選電氣和機械接口。


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                    標?準產品系列:需完整產品目錄,請聯系Axetris !


                    每個Axetris MFM/MFC2000產品都提供全量程的標定和溫度補償,標定遵從NIST溯源。


                    廣泛的氣體種類和量程范圍:


                    MFM/MFC2000產品可以適用非常廣泛的多種非腐蝕氣體,氣體量程可以從小于20sccm到20000sccm(標準立方厘米每分鐘)。通過旁路設計,還可獲得更大的量程范圍。


                    標準型產品:


                    MFM 21x0: 標準型質量流量計,是MFM2020加裝電氣保護外殼的擴展產品。

                    標準型質量流量計,是MFM2020加裝電氣保護外殼的擴展產品。

                    MFM 2120: RS232/ 0…5 Volt, MFM 2130: RS232/ 4…20 mA,MFM 2140: RS485.

                    MFC 21x2: 標準型質量流量控制器,集成了快速反應的調節閥。相較于傳統的質量流量控制器,具有更小的體積,更高的精度,更短的整定時間,以及多量程,多種氣體的控制能力。

                    如下為不同型號所支持的數字/模擬接口選項:

                    MFC 2122: RS232/ 0…5 Volt, MFC 2132: RS 232/ 4…20 mA,

                    MFC 2142: RS485, MFC 2162: PROFINET?


                    用于系統集成的OEM模塊:


                    MFM 2020: 帶有數字交互界面和0-5V模擬輸出的緊湊型質量流量計。它的小巧的尺寸讓其成為受限于空間限制的產品設計的理想選擇。此外它也是用來建立定制化和多種氣體通道測量的理想模塊。


                    MFM 2021: 此先進的氣體質量流量計附帶有高精密PID控制,配備模擬信號輸出,使其對氣體流量進行直接、高速和精準得到測量成為可能。


                    MFC 2022: 帶有快速反應調節閥和具有驅動電路的緊湊型質量流量控制器。它是高度緊湊型氣體控制系統的理想選擇。








                    參數單位
                    典型值
                    流量范圍
                    sccm
                    up to 15,000 per channel
                    目標氣體N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2
                    Gas Flow ChannelsUp to 4
                    Channel TypeController or Meter
                    ConfigurationMixer or Splitter
                    流量精度

                    Axetris standard

                    穩定時間ms
                    <  150
                    供電電壓
                    V24
                    數字量輸入輸出
                    RS-485 全雙工
                    Electronic InterfaceCommon Electronic Interface Board with D-Sub 9 Connector (Optional)
                    Mechanical InterfaceThread 1/8” ISO, Optional Fittings





                    Axetris質量流量技術被用于眾多行業,廣泛應用于氣相色譜、泄露檢測、熱分析、質譜、鍍膜技術、等離子技術以及其他眾多的領域。



                    ■ 分析儀器


                    氣相色譜分析

                    質譜分析原子光譜分析

                    元素分析

                    熱值分析生物反應器和發酵設備



                    ■ 工業領域



                    泄漏測試

                    薄膜鍍層控制CO2激光切割



                    ■ 醫療領域


                    氧氣混合設備通風裝置及呼吸設備控制





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