點擊次數：153次????更新時間：2017-03-16 11:05:17
基于MEMS工藝的熱式質量流量技術；
重復性、復現性、穩定性強；
氣體控制精度高，可快速響應；
大于1000:1的動態量程比；
在很大的測量范圍內，也能保持良好的線性度；
結構緊湊，幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量；
模塊化設計，為OEM客戶量身定制。
緊湊的質量流量計配有RS-485全雙工通訊接口，基于Axetris專利的鉑金MEMS技術(MEMS:微電子機械系統）它提供了以下的優勢
·緊湊的外形尺寸
·快速的穩定時間
·極佳的重復性和精度
·堅固的設計
·高量程比
·極佳的長期穩定性
它被推薦用于獨立的應用和集成在工業，分析和醫療系統上的應用
| 參數 | 單位 | 典型值 |
| 流量范圍 | sccm | 20,50,100,250,1000,3000 |
| 目標氣體 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
| 流量精度0-10% | % F.S | 0.2（250sccm,N2,4bara） |
| 流量精度10-100% | % O.R | 1（250sccm,N2,4bara） |
| 傳感器響應時間 | ms | < 4 |
| 供電電壓 | V | 24 |
| 數字量輸入輸出 | RS-485 全雙工 | |
Axetris質量流量技術被用于眾多行業，廣泛應用于氣相色譜、泄露檢測、熱分析、質譜、鍍膜技術、等離子技術以及其他眾多的領域。
■ 分析儀器
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| 質譜分析 | 原子光譜分析 | |
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| 熱值分析 | 生物反應器和發酵設備 |
■ 工業領域
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| 薄膜鍍層控制 | CO2激光切割 |
■ 醫療領域
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| 氧氣混合設備 | 通風裝置及呼吸設備控制 |
