點擊次數：94次????更新時間：2017-03-16 11:04:39
基于MEMS工藝的熱式質量流量技術；
重復性、復現性、穩定性強；
氣體控制精度高，可快速響應；
大于1000:1的動態量程比；
在很大的測量范圍內，也能保持良好的線性度；
結構緊湊，幫您實現新的功能的同時減小系統尺寸和重量；
模塊化設計，為OEM客戶量身定制。
這種質量流量計的量程可擴展到15,000 sccm。具有無與倫比的動態量程和超緊湊尺寸的特點。
技術優勢
·無與倫比的動態量程
·出色的可重復性
·超緊湊的尺寸
·專為OEM客戶設計
| 參數 | 單位 | 典型值 |
| 流量范圍 | sccm | 0-15,000 |
| 外形尺寸 | mm | 50×52×22（質量流量控制器OEM模塊） |
| 流量精度 | ±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取較大值 | |
| Repeatability | ±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取較大值 | |
| Resolution | % F.S. | 0.1 |
| Remarks | 如您需要更為詳細的資料，敬請查閱產品相關的技術規格書 | |
Axetris質量流量技術被用于眾多行業，廣泛應用于氣相色譜、泄露檢測、熱分析、質譜、鍍膜技術、等離子技術以及其他眾多的領域。
■ 分析儀器
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| 質譜分析 | 原子光譜分析 | |
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| 熱值分析 | 生物反應器和發酵設備 |
■ 工業領域
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| 薄膜鍍層控制 | CO2激光切割 |
■ 醫療領域
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| 氧氣混合設備 | 通風裝置及呼吸設備控制 |
